13.56MHz射頻電源（大功率） 

產品性能

該電源輸出功率可達2500W到5000W ，頻 率13.56MHz，標準正弦波。該系列電源具有功率輸出精度高、穩(wěn)定、可重復等優(yōu)點。其固態(tài)設計使得該產品價格低、可靠性高。電源采用大屏幕液晶顯示：設定功率、入射功率、反射功率、狀態(tài)等參數(shù)，同時還可以顯示匹配器的運行參數(shù)并且通過電源面板可操作射頻匹配器。

應用對象

該電源可以作為射頻驅動等離子體系統(tǒng)的電源，該系統(tǒng)可應用于半導體工業(yè)。應用對象包括：刻蝕、RIE、平行板、ICP、磁控濺射、CVD、PVD、等離子清洗和PECVD等系統(tǒng)。