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半導體晶片內部缺陷檢測系統
產品介紹 HS-phys-SimPLe半導體晶片內部缺陷檢測系統是專門用于包括單晶硅、碳化硅、藍寶石等半導體晶片及晶環生產過程中以極高的分辨率探測晶片和晶環的內部滑移線、內部隱裂等內部缺陷檢測的儀器 檢測原理是：HS-Phys-SimPLe系統是一種高分辨率光致發光（PL）掃描映射系統，用于表征直徑高達400mm的半導體晶片。使用專門設計的高強度激光源來激發半導體材料中的少子載流子。 三種類型復合載體：SRH（S......
電話：010-60546837 15910963468 肖宗鏞 
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