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R-14制冷劑,別名R14、氟利昂14、PFC-14,商品名稱有Freon 14等,中文名稱四氟化碳、四氟甲烷,英文名稱Carbon Tetrafluoride or Tetrafluoromethane,分子式CF4。R-14屬于FC類物質——對臭氧層沒有破壞、但存在溫室效應;目前對于R14制冷劑的生產、銷售以及在新制冷設備上的初裝、售后設備上的再添加均沒有限制。 R-14主要用途 R-14作為一款特種超低溫制冷劑,主要應用于要求溫度非常低的深冷設備中(包括科研制冷、醫用制冷等),R14同時也是超低溫配合冷媒的重要組分。四氟化碳(四氟甲烷)是目前微電子工業中用量最大的等離子蝕刻氣體,其高純氣及四氟甲烷高純氣配高純氧氣的混合氣,可廣泛應用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻,在電子器件表面清洗、太陽能電池的生產、激光技術、氣相絕緣、泄漏檢驗劑、印刷電路生產中的去污劑等方面也大量使用。 R-14物化性質冷媒名稱 R-14 分子量 88.0 沸點(1atm),℃ -128 臨界溫度,℃ -45.67 臨界壓力,kPa 3740 飽和蒸氣壓(25℃),kPa 3650(-45.6℃)汽化熱/蒸發潛熱(沸點下,1atm),kJ/kg - 破壞臭氧潛能值(ODP) 0 全球變暖潛能值(GWP,100 yr) 5700 ASHRAE安全級別 A1(無毒不可燃) R-14冷媒包裝可重復使用高壓鋼瓶包裝(需回收包裝鋼瓶):7kg/瓶,32kg/瓶。
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