轉讓日本光弛2350鍍膜機 

概述:2.用途:此真空鍍膜機是鍍制防污膜(AS膜)及防反射膜+防污膜(AF+AS膜)型光學鍍膜機,應用于鍍膜機等所配的觸摸屏。真空中制備膜層可防止膜料和鍍件表面的污染,消除空間碰撞,提高鍍層的致密性和可制備
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2021-10-22 10:13:37 點擊22711次
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1.標配參數:單槍、 離子源、 晶控、23公分的射頻源、 熱阻蒸、 頂部側部加熱、 兩個擴散泵、一個螺絲泵、一個機械泵

2.特征:磁密封驅動的基板旋轉式可得到穩(wěn)定和均勻的膜厚分布

3.配備:配備RF離子源以提高膜的耐摩擦性;用于防污膜(AS 膜)批量生產;防污膜(AS 膜)批量生產。

4.性能:達到壓強7.0E-5Pa以下

5.配置參數:

真空室 Ф2350mm×H 1400mm

基板架 Ф2200 mm

基板架轉速 20rpm

晶振式膜厚計 6點式⽔晶傳感器

蒸發(fā)源 電⼦槍1臺,熱阻蒸

達到壓強 7.0E-5Pa 以下

排強時間 15分以下(壓強〜2.0×10-3 Pa)

6.工作條件:

設備尺寸 約6300mm (W)×9000mm (D) ×4000mm (H)

電源 3相,200v,50/60Hz,約80KVA

水流量 220升/分以上

空氣壓力 0.5-0.7mpa

重量 約12000kg


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