據統計，1984年有SO2控制工藝189種，目前已超過200種。主要可分為四類：（1）燃燒前控制-原煤凈化（2）燃燒中控制-硫化床燃燒（CFB）和爐內噴吸收劑（3）燃燒后控制-煙氣脫硫（4）新工藝（如煤氣化/聯合循環系統、液態排渣燃燒器）其中大多數國家采用燃燒后煙氣脫硫工藝。煙氣脫硫則以濕式石灰石/石膏法脫硫工藝作為主流。
自本世紀30年代起已經進行過大量的濕式石灰石/石膏法研究開發，60年代末已有裝置投入商業運行。ABB公司的第一套實用規模的濕法煙氣脫硫系統于1968年在美國投入使用。1977年比曉夫公司制造了歐洲第一臺石灰/石灰石石膏法示范裝置。IHI（石川島播磨）的首臺大型脫硫裝置1976年在磯子火電廠1、2號機組應用，采用文丘里管2塔的石灰石石膏法混合脫硫法。三菱重工于1964年完成第一套設備，根據其運轉實績，進行煙氣脫硫裝置的開發。
第一代FGD系統：美國和日本從70年代開始安裝。早期的FGD系統包括以下一些流程：石灰基流質；鈉基溶液；石灰石基流質；堿性飛灰基流質；雙堿（石灰和鈉）；鎂基流質；Wellman-Lord流程。采用了廣泛的吸收類型，包括通風型、垂直逆流噴射塔、水平噴射塔，并采用了一些內部結構如托盤、填料、玻璃球等來增進反應。
第一代FGD的脫硫效率一般為70%~85%。
除少數外，副產品無任何商用價值只能作為廢料排放，只有鎂基法和Wellman-Lord法產出有商用價值的硫和硫酸。特征是初投資不高，但運行維護費高而系統可靠性低。結垢和材料失效是最大的問題。隨著經驗的增長，對流程做了改進，降低了運行維護費，提高了可靠性。