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掃描電鏡主動(dòng)減振系統(tǒng)WVIB-JZX-1000掃描電鏡減振臺(tái)青島浩正 

WVIB-JZX-1000主動(dòng)減振系統(tǒng)

儀器名稱：主動(dòng)減振系統(tǒng)、

儀器型號(hào)：WVIB-JZX-1000

中國(guó)區(qū)：青島浩正科儀智能技術(shù)有限公司

一、用途

解決振動(dòng)尤其是低頻振動(dòng)對(duì)電鏡圖像造成干擾的問題。

青島浩正科儀1-5-2.53.2-0.13-71

二、工作環(huán)境條件

2.1 環(huán)境溫度/濕度：5～40℃/20%～80% R.H

2.2 供電電源：交流電源220V±10%,50Hz

2.3 地線要求：需安全接地線

三、技術(shù)指標(biāo)：

3.1 減振平臺(tái)安裝尺寸（長(zhǎng)×寬×高）：1130×902×200（mm）（可以根據(jù)不同電鏡定制），減振平臺(tái)重量：190kg；

3.2 主動(dòng)減振帶寬：：0.5Hz至100Hz；

3.3 產(chǎn)生磁場(chǎng)強(qiáng)度：≤0.3mGpkpk；

3.4 靜息時(shí)間：300ms；

3.5 平臺(tái)負(fù)載重量：300kg至1500kg；

3.6 減振效果：從0.5Hz開始有減振效果；到2Hz，水平和垂直兩個(gè)方向均達(dá)到-20dB的衰減（90%衰減）；

3.7 控制自由度：6；

※3.8控制方式：含前饋的雙重主動(dòng)控制；

3.9執(zhí)行單元：直線電機(jī)；

3.10 推力常數(shù)：80N/Amp；

※3.11壓縮空氣：不需要；

3.12 安裝/調(diào)試：由專業(yè)研發(fā)工程師現(xiàn)場(chǎng)針對(duì)性安裝、調(diào)試；

3.13 適用機(jī)型：用于SEM、FIB、Dual Beam機(jī)臺(tái)等。

四、配置清單

4.1 臺(tái)式減振平臺(tái)，1臺(tái)

4.2 減振控制器，1個(gè)

4.3 傳感器電纜線（帶25芯D型插頭），1根

4.4 電機(jī)電纜線（帶37芯D型插頭），1根

4.5 控制器電源線（3芯），1根

五、技術(shù)資料

中文產(chǎn)品說明書1套。青島浩正科儀智能技術(shù)有限公司提供。

六、技術(shù)支持和服務(wù)要求

6.1提供送貨上門服務(wù)，貨物到達(dá)用戶現(xiàn)場(chǎng)后，在收到用戶通知后7天內(nèi)派遣合格的技術(shù)人員前往用戶現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行安裝調(diào)試，按驗(yàn)收指標(biāo)逐項(xiàng)測(cè)試，直至達(dá)到驗(yàn)收要求。設(shè)備安裝調(diào)試需在接到用戶通知后15日內(nèi)完成。

6.2在安裝驗(yàn)收期間，在現(xiàn)場(chǎng)對(duì)用戶進(jìn)行免費(fèi)培訓(xùn)，培訓(xùn)內(nèi)容包括：工作原理，設(shè)備結(jié)構(gòu)，儀器操作（包括控制器操作、面板操作、常見故障原因及排除），主要部件用途和日常維護(hù)保養(yǎng)等。承諾至少培訓(xùn)一位用戶能完全獨(dú)立操作、使用設(shè)備。

6.3保修期：保修期一年，自設(shè)備驗(yàn)收合格之日起計(jì)算。質(zhì)保期內(nèi)對(duì)所供設(shè)備實(shí)行包修、包換、包退、包維護(hù)保養(yǎng)。在質(zhì)保期后，保證長(zhǎng)期提供零備件和優(yōu)質(zhì)維修服務(wù)，保修期后設(shè)備維修配件更換只收取配件和人工成本費(fèi)用。

6.4維修響應(yīng)時(shí)間：負(fù)責(zé)設(shè)備的終身維修，儀器出現(xiàn)問題，在收到用戶通知后，24 小時(shí)內(nèi)予以回應(yīng)、并提出解決方案。如必須現(xiàn)場(chǎng)解決的，兩個(gè)工作日內(nèi)安排維修人員到達(dá)現(xiàn)場(chǎng)。