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SIMCO離子風棒5635 

概述:簡 介 5635型MP離子風棒,是對應用在先端半導體制造工程等100nm以下的微小型顆料除靜電器。

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簡 介 5635型MP離子風棒,是對應用在先端半導體制造工程等100nm以下的微小型顆料除靜電器。 特點: Ø 采用在世界上無與倫比的電極材料單晶硅的優(yōu)勢,避免超低顆料特性的電極材料的重金屬污染的風險。 Ø 通過獨特的MP(脈沖調制)方式,可以有效的發(fā)揮離子除電性能。 Ø 平衡的電位,即使是在距100mm的距離也可用使用的特性及靜電桿長且離子平衡度好。 Ø 通過智能控制電路,可自動管理離子發(fā)生狀態(tài)及離子平衡度。 Ø 1/4圈可以拆卸更換電極,有助于減少維護工時。 Ø 電位波動小的MP方式的特性,簡化了組裝。另外,電位波動小可以保持離子平衡度在管理的基準內。 Ø 設定了適合半導體前工序EFEM用的除靜電棒長度。 Ø 內置24V DC驅動控制器的小巧緊湊型設計。 Ø 可用于全球高層次網(wǎng)絡。 產 品 規(guī) 格 輸入電壓 24V DC + / -10% 輸出電壓 最大可調至約13.5kv PP 安裝距離 100毫米?1000毫米(無空氣凈化) 離子生成方式 電暈放電法 PM(脈沖變調)方式 變動頻率 1 ~ 33 Hz 離子平衡度 自動平衡調節(jié)方法
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