超高精度影像測量儀VIEW Precis 200 

概述: 全新的Precis 200 是基于Micro-Metric的Innova晶圓量測系統開發而來,集成了VIEW最先進的設計和技術。新的PRECIS包括許多可配置的選項,使該系統更加通用、實用和可靠: 擴展Z軸范圍-2.5mm,5mm或

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全新的Precis 200 是基于Micro-Metric的Innova晶圓量測系統開發而來,集成了VIEW最先進的設計和技術。新的PRECIS包括許多可配置的選項,使該系統更加通用、實用和可靠:

擴展Z軸范圍-2.5mm,5mm或100 mm.

透射照明

完整電子繪圖 – 完全符合 SEMI S2 和 CE 標準。

符合人體工程學的操作員控制臺 ,帶有隱藏鍵盤托盤, 可調節高度和角度的控制面板和顯示器,符合SEMI S8

全自動程序控制顯微鏡頭

兆像素分辨率攝像頭

VIEW Metrology Software (VMS™) 可以測量的零件類型很廣泛, 可選CAD導入 以及完整的幾何尺寸和公差判定。

MMWin – Wafer和Mask測量軟件 –晶圓的重要尺寸和迭置重合測量, slider ABS,光掩模和平板顯示器。

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