四氟化碳 cf4 蝕刻氣體 電子器件清洗 泄露檢驗劑 

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四氟化碳

UN: 1956  CAS NO:75-73-0,30kg/瓶 銅閥門QF-2,閥門型號:CGA660,出口螺紋:G5/8.

CF4是不燃燒的無色無味的壓縮氣體,飽和蒸汽壓力2000psig,是目前微電子工業(yè)中用量最多的等離子蝕刻氣體,可廣泛用于硅,二氧化硅,氮化硅,磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻。在常溫常壓下為無色無臭有輕微酸味的氣體。空氣中不易燃燒,是比較穩(wěn)定的無毒物質(zhì)。但是在高溫時,或與可燃?xì)怏w一同燃燒是,分解出有毒的氟化物。在電子器件表面清洗,太陽能電池的生產(chǎn),激光技術(shù),氣相絕緣,低溫制冷,泄漏檢驗劑,控制宇宙火箭姿態(tài),印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等方面也大量使用。也可用于金屬冶煉,銅,不銹鋼,碳鋼,鋁蒙及爾,還用于塑料行業(yè)。

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