電源具有 選購指南

13.56MHz射頻電源（大功率）

產品性能 該電源輸出功率可達2500W到5000W ，頻 率13.56MHz，標準正弦波。該系列電源具有功率輸出精度高、穩(wěn)定、可重復等優(yōu)點。其固態(tài)設計使得該產品價格低、可靠性高。電源采用大屏幕液晶顯示：設定功率、入射功率、反射功率、狀態(tài)等參數，同時還可以顯示匹配器的運行參數并且通過電源面板可操作射頻匹配器。 應用對象 該電源可以作為射頻驅動等離子體系統(tǒng)的電源，該系統(tǒng)可應用于半導體工業(yè)。應用對象包括：刻蝕、RIE、平行......