光譜橢偏儀全自動 

概述:[中介]全自動光譜橢偏儀(PH-ASE型)把使用者從煩瑣的手動調節樣品高度和傾斜度工作中解放出來,樣品對準是為了保證橢偏儀測量的可重復性和精確性。已獲得專利的自動樣品對準裝置能夠顯著減少操作失誤;能夠工作于

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全自動光譜橢偏儀(PH-ASE型)把使用者從煩瑣的手動調節樣品高度和傾斜度工作中解放出來,樣品對準是為了保證橢偏儀測量的可重復性和精確性。已獲得專利的自動樣品對準裝置能夠顯著減少操作失誤;能夠工作于透明或反射基底;能夠進行地貌圖測量,包括翹曲晶片。



全自動光譜橢偏儀 - 產品特點

■ 全自動樣品校準
■ 高測量速率 < 8秒
■ 消除了全波段范圍內的盲點
■ 可測量透明和吸收基底
■ 高測量精度
■ 具有實驗數據和模擬數據三維繪圖功能
■ 友好的軟件界面,強大數據分析功能
■ 具有實驗數據和模擬數據三維繪圖功能



光譜橢偏儀 - 技術指標

■ 光源:氙燈
■ 光斑直徑:1-3mm
■ 入射角范圍:20°到90°自動控制
■ 波長范圍:350-850nm, 250-1100nm, 250-1700nm:0.002°~ 0.02°
■ 波長精度:1nm
■ 測量時間: < 8s (取決于測量模式和粗糙度)
■ 入射角度精度:0.01




光譜橢偏儀 - 可選配

■ CCD線陣列探測元件:200-850nm,350-1000nm
■ 樣品顯微鏡
■ 高穩定性消色差補償器
■ 透射測量架
■ XY移動樣品臺
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