無(wú)接觸厚度TTV電阻率綜合測(cè)試系統(tǒng)
概述：[中介]HS-T50無(wú)接觸厚度TTV電阻率綜合測(cè)試系統(tǒng)是一款廣泛應(yīng)用于太陽(yáng)能電池片制造過(guò)程中對(duì)表面厚度TTV電阻率無(wú)損測(cè)量的專(zhuān)業(yè)儀器。該儀器適用于Si，GaAs，InP，Ge等幾乎所有的材料，所有的設(shè)計(jì)都符合ASTM(美國(guó)材料
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
HS-T50無(wú)接觸厚度TTV電阻率綜合測(cè)試系統(tǒng)是一款廣泛應(yīng)用于太陽(yáng)能電池片制造過(guò)程中對(duì)表面厚度TTV電阻率無(wú)損測(cè)量的專(zhuān)業(yè)儀器。該儀器適用于Si，GaAs，InP，Ge等幾乎所有的材料，所有的設(shè)計(jì)都符合ASTM(美國(guó)材料實(shí)驗(yàn)協(xié)會(huì))和Semi標(biāo)準(zhǔn)，確保與其他工藝儀器的兼容與統(tǒng)一。
產(chǎn)品特點(diǎn)
■ 無(wú)接觸無(wú)損傷測(cè)量
■ 適用的晶圓材料包括Si，GaAs，InP，Ge等幾乎所有的材料
■ 抗干擾強(qiáng)，穩(wěn)定性好
■ 強(qiáng)大的工控機(jī)控制和大屏幕顯示
■ 一體化設(shè)計(jì)操作更方便，系統(tǒng)穩(wěn)定
■ 為晶圓硅片關(guān)鍵生產(chǎn)工藝提供精確的無(wú)接觸測(cè)量
技術(shù)指標(biāo)
■ 測(cè)試尺寸：50mm-300mm.
■ 厚度測(cè)試范圍：1000 um，可擴(kuò)展到1700 um.
■ 測(cè)試精度：+/-0.25um
■ 電阻率測(cè)試范圍：0.1-50 ohm.cm
■ 測(cè)量精度：2%
■ 晶圓硅片類(lèi)型：?jiǎn)尉Щ蚨嗑Ч?div align=center>
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