外延石英鐘罩清洗機
概述：外延石英鐘罩清洗機 適用于LPE外延爐PE2061（S）、PE3061、ASM E2000、AMAT CENTURA200、MOORE77**/78**五種爐子的石英鐘罩及石英件的清洗；適用于半導體材料行業；手動、自動控制模式； 適用對象參數為
外延石英鐘罩清洗機
適用于LPE外延爐PE2061（S）、PE3061、ASM E2000、AMAT CENTURA200、MOORE77**/78**五種爐子的石英鐘罩及石英件的清洗；適用于半導體材料行業；手動、自動控制模式；
適用對象參數為9010mm*1170mm的1 件/ Batch；471mm*155mm數量1 件/ Batch；1200mm* Φ417mm數量1 件/ Batch；900mm石英件數量1 件/ Batch；機臺封面為聚丙烯磁白PP板材(厚度≧10mm)；整體骨架表面噴涂處理 ；機臺視窗為透明、抗靜電之聚氯乙烯PVC(厚度≧5mm) ；配有蝕刻液恒溫系統、 蝕刻液循環過濾系統、 二流體噴淋系統（CGB專利技術）、 全自動烘干系統； 可結合客戶端通訊協定資料儲存、CIM系統、資料分析儲存建立管理； 全程自動控制，工藝生產過程中不用人工干預，保證產品性能的一致性； 采用CGB專利技術，鐘罩靜止等待，通過二流體及噴淋助力裝置完成均勻蝕刻清洗；全自動烘干系統；多級別用戶工藝數據庫，可供用戶使用和存儲；作業區內有害氣體多種安全主動及被動保護相結合，保證操作人員作業環境及人身安全； 客制化設計能力佳，高設計能力滿足客戶制程工藝需要；制程控制為PLC控制方式；全圖形化中文彩色人機界面（10.4彩屏）；設備制造北京華林嘉業科技有限公司（CGB）13911568117；
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適用于LPE外延爐PE2061（S）、PE3061、ASM E2000、AMAT CENTURA200、MOORE77**/78**五種爐子的石英鐘罩及石英件的清洗；適用于半導體材料行業；手動、自動控制模式；
適用對象參數為9010mm*1170mm的1 件/ Batch；471mm*155mm數量1 件/ Batch；1200mm* Φ417mm數量1 件/ Batch；900mm石英件數量1 件/ Batch；機臺封面為聚丙烯磁白PP板材(厚度≧10mm)；整體骨架表面噴涂處理 ；機臺視窗為透明、抗靜電之聚氯乙烯PVC(厚度≧5mm) ；配有蝕刻液恒溫系統、 蝕刻液循環過濾系統、 二流體噴淋系統（CGB專利技術）、 全自動烘干系統； 可結合客戶端通訊協定資料儲存、CIM系統、資料分析儲存建立管理； 全程自動控制，工藝生產過程中不用人工干預，保證產品性能的一致性； 采用CGB專利技術，鐘罩靜止等待，通過二流體及噴淋助力裝置完成均勻蝕刻清洗；全自動烘干系統；多級別用戶工藝數據庫，可供用戶使用和存儲；作業區內有害氣體多種安全主動及被動保護相結合，保證操作人員作業環境及人身安全； 客制化設計能力佳，高設計能力滿足客戶制程工藝需要；制程控制為PLC控制方式；全圖形化中文彩色人機界面（10.4彩屏）；設備制造北京華林嘉業科技有限公司（CGB）13911568117；
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