提供SJ6000激光干涉儀，高穩(wěn)頻氦氖激光器，高精度環(huán)境補償 

1.   簡介 1.1. 產品簡介

激光干涉儀是以光波為載體，以光波波長為單位的高精度、高靈敏度檢測設備，在制造領域應用廣泛。

SJ6000激光干涉儀采用高穩(wěn)定氦氖激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術，實現(xiàn)快速(約6分鐘)、高精度(0.05ppm)、抗干擾能力強、長期穩(wěn)定性好的激光輸出；采用高精度環(huán)境補償模塊、高精度激光干涉信號處理系統(tǒng)、高性能計算機控制系統(tǒng)技術，結合線性鏡組能實現(xiàn)0.5ppm精度的線性測量；結合相應鏡組還能實現(xiàn)角度、直線度（平行度）、平面度、垂直度、回轉軸等參數(shù)的測量，并進行動態(tài)分析。

SJ6000激光干涉儀產品具有測量精度高、測量速度快、測量范圍大、分辨力高等優(yōu)點。通過與不同的光學組件結合，可以實現(xiàn)對線性、角度、平面度、直線度（平行度）、垂直度、回轉軸等參數(shù)的精密測量，并能對設備進行速度、加速度、頻率-振幅、時間-位移等動態(tài)性能分析。

在相關軟件的配合下，可自動生成誤差補償方案，為設備誤差修正提供依據(jù)。

2.  功能特點 2.1. 產品功能特點

      測量精度高：以激光干涉技術為核心，分辨力可達納米級；采用高精度環(huán)境補償模塊，解決了溫度、空氣壓力、相對濕度、材料溫度等環(huán)境因素對測量結果的影響；使用激光熱穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，保證激光長期穩(wěn)頻精度；干涉鏡與主機分離設計，避免干涉鏡受熱變形，保證干涉光路穩(wěn)定。

      具有實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、回轉軸等幾何量的檢測功能。可以檢測數(shù)控機床、三坐標測量機等精密運動設備運動導軌的線性定位精度、重復定位精度等；同時也能檢測運動導軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線度；并可以校準機床的回轉軸。

      可根據(jù)用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表，為機床誤差修正的提供依據(jù)。

      具有動態(tài)測量(位移-時間曲線、速度-時間曲線、加速度-時間曲線) 及測量振幅和頻率分析的功能，可進行機床振動測量與分析，滾珠絲桿的動態(tài)特性分析，驅動系統(tǒng)的響應特性分析等。

      內置國內外通用的標準，含國標(GB) 、ISO(國際) 、BS(英制) 、美標、DIN(德標) 、JIS(日標)共10份 �？梢罁�(jù)各種不同的機床標準分析處理數(shù)據(jù)，并可打印相應的曲線圖和數(shù)據(jù)報告。

      可自動監(jiān)測環(huán)境溫度、材料溫度、環(huán)境濕度和大氣壓力的參數(shù)。可選擇手動或自動進行環(huán)境補償。

      測量記錄采用集中式數(shù)據(jù)庫管理，可按被測件類型、生產單位、出廠編號、檢定員、送檢單位、設備編號、檢定日期和有效日期等查詢和管理檢定記錄；可將檢定數(shù)據(jù)輸出到Word、Excel文檔。

      安裝方便：基本重量為15kg，簡單便攜。

3.1. 分析標準配置

激光干涉儀測量分析軟件支持以下檢驗標準：

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