中圖儀器SJ6000國產激光干涉儀 

概述: 激光干涉儀是實現大量程納米測量的重要方法,具有測量精度高、測量范圍大及對待測振動表面無干擾等特點,已廣泛應用于航天器微振動的地面測試、雷達目標識別、精密機械制造、材料探傷等領域。

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激光干涉儀是實現大量程納米測量的重要方法,具有測量精度高、測量范圍大及對待測振動表面無干擾等特點,已廣泛應用于航天器微振動的地面測試、雷達目標識別、精密機械制造、材料探傷等領域。


中圖儀器SJ6000國產激光干涉儀可實現線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等多幾何參量的高精密測量,用于檢測數控機床、自動化設備、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等,以及進行數控機床、三坐標測量機的精度補償。



產品參數

產品型號:SJ6000
產品名稱:SJ6000激光干涉儀
穩頻方式:雙頻激光熱穩頻
穩頻精度:0.05ppm
線性測量精度:0.5ppm(0-40)℃
線性測量距離:(0-80)m(無需遠距離線性附件)
角度測量精度:±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M μm/m
測量分辨力:1nm
動態采集頻率:50KHz
預熱時間:≤6分鐘
工作溫度范圍:(0-40)℃
環境溫度范圍:(0-40)℃,環境濕度:0-95%
主要特點:應用范圍廣、測量精度高、操作方便
生產企業:深圳市中圖儀器股份有限公司


SJ6000國產激光干涉儀集光、機、電、計算機等技術于一體,產品采用高性能氦氖激光器,其壽命可達50000小時;采用激光雙縱模熱穩頻技術,可實現高精度、抗干擾能力強、長期穩定性好的激光頻率輸出;采用高速干涉信號采集、調理及細分技術,可實現高4m/s的測量速度,以及納米級的分辨率;采用高精度環境補償模塊,可實現激光波長和材料的自動補償;采用高性能計算機控制系統及軟件技術,支持中文、英文和俄文語言,友好的人機界面、向導式的操作流程、簡潔化的記錄管理。



產品特點

1. 測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優點,結合不同的光學鏡組,可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量;

2. 在動態測量軟件配合下,可實現線性位移、角度和直線度的動態測量與性能檢測,以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態分析,如振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等。


SJ6000國產激光干涉儀滿足了我國各級計量院所、精密加工制造、數控機床、精密儀器等領域在高精度和大量程長度測量方面的需求,提升了我國自主的高精密激光測量水平和高端計量檢定裝備的水平。
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