白光干涉儀測薄膜表面起伏 

概述:各種光學鏡片和玻璃等超精密加工產物,其表面質量等級非常高。如果采用接觸式的輪廓儀,會劃傷器件表面,而一般的非接觸式光學影像方法,也沒有辦法克服它的高透明度特性。用光學干涉原理研制成的中圖儀器

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各種光學鏡片和玻璃等超精密加工產物,其表面質量等級非常高。如果采用接觸式的輪廓儀,會劃傷器件表面,而一般的非接觸式光學影像方法,也沒有辦法克服它的高透明度特性。用光學干涉原理研制成的中圖儀器的SuperView W1白光干涉儀,為玻璃和光學鏡片的表面質量提供了標準解決方案。

玻璃表面臺階檢測

透明玻璃表面鍍的一層金屬膜,因為其非透明特性,薄膜測厚儀沒有辦法測膜層厚度。況且膜層厚度的精度是在納米級別的,不管是非接觸式光學儀器還是接觸式臺階儀,都存在測量誤差,而中圖儀器研發生產的SuperView W1白光干涉儀的測量精度達到亞納米級,可以對膜層厚度進行一鍵測量。

儀器軟件對兩臺階高的檢測


光學透鏡檢測
球面透鏡在可見光領域是一種基礎光學器件,其光的傳播效果受曲率半徑和表面粗糙度的影響,中圖儀器SuperViewW1白光干涉儀可以對這兩項參數同時進行檢測。

某型號雙膠合透鏡的曲率半徑和表面粗糙度檢測


SuperViewW1白光干涉儀適合檢測的樣品按領域分為消費電子類、半導體封裝、超精密加工(機械、光學)、微納材料這四個大的領域。超精密加工這個行業覆蓋面比較廣,包括航空航天上用到精密零部件,包括金屬、陶瓷片和石英制的精密器件,大多數由于要求在檢測過程中不能劃傷器件表面,因此在檢測方式上需要采用非接觸式的方式,因而需要用白光干涉儀這類儀器。

白光干涉儀測薄膜表面起伏
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